典型的工藝排風(fēng)系統(tǒng)包括：酸、溶劑和VOC、毒性物質(zhì)、熱和一般的房間排風(fēng)。如果廢氣中有氨氣出現(xiàn)，一些廠家會(huì)選擇使用分開(kāi)的風(fēng)管系統(tǒng)和處理系統(tǒng)。使用*多、*普遍的酸消除方法，是水平或垂直氣體洗滌塔。溶劑和VOC的去除通常運(yùn)用就地或當(dāng)場(chǎng)高溫破壞的方法。需要認(rèn)真選擇支隊(duì)的方式及必須支隊(duì)的廢氣流量。

　　上等的空氣處理設(shè)備能夠?qū)U氣量降至*低，因此，在實(shí)施過(guò)程中可降低工程費(fèi)用和能源浪費(fèi)。保持排風(fēng)量增加的潛在需求、擴(kuò)大生產(chǎn)和安裝這些備用品所需的經(jīng)濟(jì)價(jià)值之間的平衡是十分重要的。通常情況下，考慮到無(wú)塵車(chē)間將來(lái)的擴(kuò)展，當(dāng)其它動(dòng)力設(shè)備和暖通、動(dòng)力專(zhuān)業(yè)系統(tǒng)(例如新風(fēng)和冷卻)不能滿(mǎn)足這種擴(kuò)充的需求時(shí)，超大的昂貴的、不銹鋼襯里的或FRP排風(fēng)系統(tǒng)就已經(jīng)建立了。沒(méi)有考慮將來(lái)的需求而建立的酸排隊(duì)系統(tǒng)也是十分普遍的。增加風(fēng)量和新的風(fēng)管支管，，就會(huì)使風(fēng)管系統(tǒng)中的風(fēng)速超過(guò)每分鐘4000英尺。這樣的系統(tǒng)保持平衡是十分困難的或不可能的，并且運(yùn)行的費(fèi)用昂貴。如何解決無(wú)塵車(chē)間凈化工程 超出建造預(yù)算成本的十五個(gè)因素（下）

　　9. 振動(dòng)和噪聲控制?；ㄙM(fèi)因素變量：-0.027至0.10設(shè)備的大小和重量影響振動(dòng)的傳播及控制。無(wú)塵車(chē)間地板下面的“華夫(waffle)”混凝土板層，能夠很好地避免將設(shè)備的振動(dòng)傳送到其他生產(chǎn)區(qū)域或度量衡工具上。即使為了安裝管道而在無(wú)塵車(chē)間的地面上鉆洞，Waffle混凝土板層仍能保持其風(fēng)性。因?yàn)榈匕宓膹?qiáng)度在于它的柵格系統(tǒng)，并可進(jìn)行重新整理。因此可在地板上沖壓額外的孔洞，而不會(huì)對(duì)振動(dòng)因素有任何副作用。所有的暖通、動(dòng)力專(zhuān)業(yè)設(shè)備應(yīng)使用彈簧、軟件接和隔離安裝等隔絕振動(dòng)的方式，將振動(dòng)效應(yīng)降到*低。低噪音的節(jié)能風(fēng)機(jī)和馬達(dá)，可以用來(lái)維護(hù)無(wú)塵車(chē)間NC水平。振動(dòng)和噪聲方面的專(zhuān)家應(yīng)是評(píng)估小組的成員，他們來(lái)**用于振動(dòng)和噪聲方面的專(zhuān)家應(yīng)是評(píng)估小組的成員，他們來(lái)核實(shí)用于振動(dòng)和噪聲控制中的機(jī)械和建筑學(xué)原理。完工后的再處理可能是十分昂貴的。如果建筑師、暖通、動(dòng)力專(zhuān)業(yè)工程師、業(yè)主和顧問(wèn)從設(shè)計(jì)的開(kāi)始就考慮這些因素，可以免去許多潛在的昂貴的檢測(cè)，或用更經(jīng)濟(jì)的辦法取代。

　　10. 磁通量和電磁通量?；ㄙM(fèi)因素變量：0.037至0.15磁通量被認(rèn)為是銀河系中海洋微粒背景的流量。銀河系的放置也被認(rèn)為是自然界的電磁循環(huán)?！巴俊边@個(gè)詞代表流量，我們可以認(rèn)為磁力線(xiàn)就象某種液體流動(dòng)的路線(xiàn)那樣穿過(guò)一個(gè)假想的表面。磁場(chǎng)的大小代表流動(dòng)的速度，它的方向就是流動(dòng)的方向。磁通量就是流過(guò)這個(gè)表面的所有的容量。為了更好地理解，我們可以認(rèn)為磁通量就是穿過(guò)這個(gè)表面的磁力線(xiàn)的數(shù)量。對(duì)于給定的速度，當(dāng)微粒移動(dòng)的方向垂直于磁場(chǎng)方向時(shí)，磁力是*大的，當(dāng)與磁場(chǎng)方向平等運(yùn)動(dòng)時(shí)，磁場(chǎng)力為零。在大多數(shù)基本水平，移動(dòng)電荷之間的相互作用產(chǎn)生磁力，就象靜電產(chǎn)生于導(dǎo)電電荷與其他導(dǎo)電電荷(不論他們是否運(yùn)動(dòng))之間的相互作用。通過(guò)對(duì)行星的拍照研究表明，由于地球的放置和它熔化的金屬內(nèi)核使得它有一個(gè)強(qiáng)大的磁場(chǎng)。磁通量的密度(替代“牛頓的每安培米”)有它自己的單位---特斯拉。地球表面的磁場(chǎng)近似代表值是二分之一高斯，大約是200,000特斯拉。在對(duì)公眾開(kāi)放的區(qū)域內(nèi)，職業(yè)**和健康要求磁場(chǎng)強(qiáng)度不能大于5個(gè)高斯。

　　無(wú)塵車(chē)間的磁場(chǎng)防護(hù)是十分昂貴的。例如，無(wú)塵車(chē)間使用4到5毫米厚的磁性(鐵--硅)鋼板(M15型)作為屏蔽材料仍不能滿(mǎn)足要求。當(dāng)前的半導(dǎo)體、度量衡和通訊實(shí)驗(yàn)室區(qū)域內(nèi)要求磁通量的強(qiáng)度限制在0.05高斯或更低。

　  曾經(jīng)有一個(gè)非常昂貴的無(wú)塵車(chē)間在建成后不久就關(guān)閉了，因?yàn)樗诘奈恢糜泻芨叩拇磐?。另一個(gè)無(wú)塵車(chē)間失敗因?yàn)榘驳纳a(chǎn)地板下面埋了幾英尺的一條高容量的高壓電纜。再一次強(qiáng)調(diào)，如果在項(xiàng)目的開(kāi)始對(duì)這些因素進(jìn)行評(píng)估，可能會(huì)找到解決措施并且節(jié)約時(shí)間和成本。事實(shí)上，磁場(chǎng)屏蔽的成本也是應(yīng)該考慮的。

　　11. 空氣和物體表面的靜電荷?；ㄙM(fèi)因素變量：0.0327至0.12“靜電”是由于兩個(gè)獨(dú)立的表面相互接觸而產(chǎn)生的。不同表面產(chǎn)生的電荷，如果不能以足夠快的速度傳導(dǎo)到地面，那么它們會(huì)聚集并散布在材料的表面----這就是“靜電”。

　　工業(yè)范圍很多區(qū)域內(nèi)殘余的靜電荷，會(huì)造成危險(xiǎn)并引發(fā)問(wèn)題。它能引起易燃?xì)怏w的燃燒和人體觸電。它能使薄的薄膜和輕纖維粘連、吸附空氣中的塵埃和碎片、損害半導(dǎo)體設(shè)備和干擾微電子設(shè)備的運(yùn)行。

　　關(guān)于易燃?xì)怏w、水蒸汽和粉塵的危險(xiǎn)與兩方面的因素有關(guān)，其一是與電容儲(chǔ)存能量相關(guān)，涉及到*小起爆能;另一方面是與*小間距的破壞電壓相關(guān)，這可以引發(fā)著火。

　　典型的，一般碳?xì)浠衔餁怏w或空氣混合物的*小起爆能是0.2 毫焦耳，并產(chǎn)生至少幾千伏的擊穿電壓。對(duì)于粉塵，*小起爆能是幾毫焦耳。靜電荷放電引起的震動(dòng)大約在1毫焦耳時(shí)是可以辨別的，當(dāng)震動(dòng)在10到100毫焦耳范圍內(nèi)時(shí)很可能使人感覺(jué)不舒服。1焦耳以上的能量將引起人體主要肌肉的收縮。當(dāng)靜電作用力與重力或其他約束力相當(dāng)時(shí)，將產(chǎn)生機(jī)械操作難題。這與局部電場(chǎng)的引力有關(guān)，因此，絕緣體與表面電荷密度有關(guān)。一般情況下，靜電作用力是微弱的，但是當(dāng)電荷密度小于幾毫焦耳10-7/㎡時(shí)，灰塵就將被吸附在它的表面。人們進(jìn)行正常的活動(dòng)時(shí)會(huì)產(chǎn)生靜電，例如在地毯上行走、從椅子上站起、磨擦衣服的表面等。在濕度較低的環(huán)境和廣泛使用人造纖維的環(huán)境，產(chǎn)生靜電荷更高。身體電壓可高達(dá)到15千伏。

　　通過(guò)帶電織物、帶電體、手持金屬物體等可進(jìn)行靜電放電。這些靜電放電可能產(chǎn)生高電壓，能夠越過(guò)設(shè)備外包裝內(nèi)的幾毫米空隙直接進(jìn)入內(nèi)部電路。放電可產(chǎn)生幾安培的電流，使頻率上升到幾百兆赫---特別是金屬導(dǎo)體充當(dāng)放電源時(shí)。

　　靜電對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備的危害取決于設(shè)備的類(lèi)型和設(shè)計(jì)方案?；パa(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)設(shè)備和精細(xì)幾何結(jié)構(gòu)特別容易受影響。盡管損害很可能與放電能量和電壓有關(guān)，但風(fēng)險(xiǎn)的表示方式與“人體模型”放電電壓有關(guān)。經(jīng)驗(yàn)表明大約在50伏特時(shí)，損害的靈敏度降低。微電子系統(tǒng)混亂所產(chǎn)生的問(wèn)題通常也被表示成與人體模型放電有關(guān)。系統(tǒng)必須能經(jīng)受幾千伏特的電壓(不受控制的環(huán)境應(yīng)在15千伏特以上)，因?yàn)樵谡９ぷ鳝h(huán)境中，人們?cè)诘匕迳献邉?dòng)等活動(dòng)能很輕易的產(chǎn)生高電壓。

　　為了減少風(fēng)險(xiǎn)，避免潛在的問(wèn)題，必須確保能夠比產(chǎn)生靜電荷更快的速度將其驅(qū)散。對(duì)醞標(biāo)準(zhǔn)的手工操作和人體活動(dòng)，電荷的衰減時(shí)間必須是0.25秒或者更少。與風(fēng)險(xiǎn)控制有關(guān)的新觀念是，如果靜電荷遇到高電容的某種材料，那么表面電壓就會(huì)降低，于是潛在的問(wèn)題和損害就可以防范。許多公司已經(jīng)采取一些措施來(lái)預(yù)防靜電，例如安裝導(dǎo)電地板或?qū)щ姷拇觼?lái)儲(chǔ)存和傳送零部件。

　　避免因靜電放電對(duì)微電子系統(tǒng)產(chǎn)生影響的*基本的方法是，將設(shè)備安放在良好的靜電和磁場(chǎng)屏蔽場(chǎng)所內(nèi)，恰當(dāng)減少所有的輸入和輸出連接。

　　12. 能源和生產(chǎn)費(fèi)用?；ㄙM(fèi)因素變量：-0.017至0.15

　　如表2所示，再循環(huán)AHU風(fēng)機(jī)和冷卻空氣的DX裝置產(chǎn)生的成本是引人關(guān)注的，大約是全部HVAC生產(chǎn)成本的35%。使用*新設(shè)計(jì)的裝置能夠節(jié)約生產(chǎn)成本，例如風(fēng)機(jī)過(guò)濾VFD驅(qū)動(dòng)、高效率馬達(dá)、帶有冷卻塔的冷卻系統(tǒng)、局部熱水再熱循環(huán)、絕熱加濕。

　　無(wú)塵車(chē)間的嚴(yán)格清潔要求與它固有的高生產(chǎn)成本相關(guān)。然而，如果事先計(jì)劃好，可以大大降低成本：

　　l **定義無(wú)塵車(chē)間級(jí)別，滿(mǎn)足工藝要求。

　　l **定義無(wú)塵車(chē)間空氣溫度和濕度，滿(mǎn)足工藝要求。

　　l 無(wú)塵車(chē)間外的排風(fēng)量應(yīng)滿(mǎn)足工藝的*低要求，一開(kāi)始就進(jìn)行排風(fēng)管理程序。在設(shè)計(jì)開(kāi)始，就在所有的排氣支管和工藝設(shè)備上提供氣流和壓差的批示儀器。如何解決無(wú)塵車(chē)間凈化工程 超出建造預(yù)算成本的十五個(gè)因素（下）

　　l 通過(guò)確定設(shè)備風(fēng)速的*大值和*小值，來(lái)降低風(fēng)管和管道的壓降，在施工整個(gè)過(guò)程中貫徹這些指導(dǎo)方針。

　　l 使用微環(huán)境、手套箱、真空室和模塊式圍擋;減少大窨的需求，從而降低生產(chǎn)成本。

　　l 使用帶VFD(變頻)驅(qū)動(dòng)的高效率馬達(dá)。

　　l 使用補(bǔ)充循環(huán)和排風(fēng)系統(tǒng)來(lái)減少壓降并節(jié)約空間。

　　13. 形式和功能?；ㄙM(fèi)因素變量：-0.038至0.16

　　一般而言，20,000到30,000平方英尺的無(wú)塵車(chē)間面積需要60,000到90,000平方英尺的建筑面積。為了在高度方面有大約10英尺的間隙空間，建筑高度必須要在大約21到26英尺。另外應(yīng)在無(wú)塵車(chē)間外層上面或下面另有12到16英尺的空間用于安裝暖通、動(dòng)力專(zhuān)業(yè)設(shè)備。

　　為了有*大限度的靈活性，無(wú)塵車(chē)間內(nèi)部不應(yīng)有任何的柱子。屋頂結(jié)構(gòu)應(yīng)有*小深度，并且能夠隨每平方英尺100至200磅的負(fù)荷，以便安裝那些懸掛在上部結(jié)構(gòu)的水管、風(fēng)管和空氣處理裝置。

　　通常情況下，間隙空間被用來(lái)作為回風(fēng)靜壓箱。因此，這些個(gè)空間和建筑物應(yīng)用陰燃材料建造。間隙空間，也就是吊頂下面的空間，應(yīng)該有噴淋裝置。如何解決無(wú)塵車(chē)間凈化工程 超出建造預(yù)算成本的十五個(gè)因素（下）

　　應(yīng)嚴(yán)格執(zhí)行現(xiàn)行的國(guó)家防火協(xié)會(huì)(NFPA)法規(guī)，連同當(dāng)?shù)?*法規(guī)一起執(zhí)行。獲得施工許可證(生產(chǎn)許可證)可能是長(zhǎng)期的、昂貴的，如果不執(zhí)行全部建筑和防火**法規(guī)將是無(wú)效的。同樣的，所有豁免和條款解釋需要有文件證明，并事先通過(guò)官方的批準(zhǔn)。

　　無(wú)塵車(chē)間的外面如果有足夠的窨 用來(lái)安裝暖通、動(dòng)力和工藝設(shè)備，例如，冷凍機(jī)、熱交換器、泵、DI水設(shè)備、儲(chǔ)液槽等，那么潔凈間可沿著無(wú)塵車(chē)間的內(nèi)墻建立。理想的情況是，在設(shè)計(jì)者和業(yè)主確定處理管路溝槽的要求，和對(duì)振動(dòng)敏感的設(shè)備的安裝位置以前，無(wú)塵車(chē)間不應(yīng)該灌注水泥地板。地下室或次地下室空間對(duì)于工藝和動(dòng)力管道系統(tǒng)、工具和生產(chǎn)設(shè)備的電纜分布、排風(fēng)和回風(fēng)管道系統(tǒng)來(lái)講是必需的。

　　通常需要有非常大的占有足夠空間電器設(shè)備。在這種情況下，必須確認(rèn)有足夠的動(dòng)力供應(yīng)。與半導(dǎo)體和藥品生產(chǎn)相關(guān)的高用水量，要求廢話(huà)水處理的容量和下水管線(xiàn)足夠大，以便對(duì)預(yù)其的污水進(jìn)行處理。目標(biāo)永遠(yuǎn)是排放*水的廢水。今天，零排放的設(shè)備是十分普遍的，它不再是目前發(fā)展水平的特點(diǎn)。

　　一個(gè)有經(jīng)驗(yàn)的建筑師對(duì)無(wú)塵車(chē)間設(shè)備輸入能量的設(shè)計(jì)不能被夸大或忽略。這對(duì)于設(shè)備的品質(zhì)和成本效率有巨大的影響。應(yīng)對(duì)高科技設(shè)備的功能進(jìn)行**了解，從而確定是否采用該設(shè)備。無(wú)塵車(chē)間外的細(xì)節(jié)決定了設(shè)備的建筑方案，就象速度的要求決定了賽車(chē)的大小和形狀。

　　對(duì)設(shè)備作用及現(xiàn)在和將來(lái)的需求有充分認(rèn)識(shí)的無(wú)塵車(chē)間建筑師，配合合格的無(wú)塵車(chē)間暖通、動(dòng)力專(zhuān)業(yè)設(shè)計(jì)工程師、結(jié)構(gòu)和電氣專(zhuān)家和業(yè)主組成團(tuán)隊(duì)，是每個(gè)成功設(shè)計(jì)的必需。如何解決無(wú)塵車(chē)間凈化工程 超出建造預(yù)算成本的十五個(gè)因素（下）

　　14. 微粒。花費(fèi)因素變量：-0.040至0.15

　　15. 工藝管道系統(tǒng)。花費(fèi)因素變量：-0.021至0.20

　　不應(yīng)取消這些因素(14和15)對(duì)于成本影響的討論，同時(shí)，因?yàn)檫@些變量對(duì)于每個(gè)工廠都是獨(dú)特的，*好不要對(duì)它進(jìn)行綜合評(píng)論。不過(guò)，它們會(huì)在內(nèi)部表格內(nèi)提及。

　　只有時(shí)間能夠告訴我們……

　　無(wú)塵車(chē)間設(shè)施的設(shè)計(jì)過(guò)程是動(dòng)態(tài)的，并具有創(chuàng)造性的。我所說(shuō)的內(nèi)容不會(huì)一成不變，法凈室可能發(fā)展成與我們今天所了解的完全不同的無(wú)塵車(chē)間。

　　微環(huán)境、屏蔽技術(shù)、手套箱和自動(dòng)控制已經(jīng)改變了無(wú)塵車(chē)間的外觀和運(yùn)行。但是，與今天的無(wú)塵車(chē)間在幾十年前還是聞所未聞一樣，明天生產(chǎn)設(shè)備的技術(shù)將勿庸置疑地向我們展現(xiàn)出非凡的驚喜，并向我們今天的所有發(fā)出挑戰(zhàn)。