FFU循環(huán)系統(tǒng)的特征是：全部潔凈室由靜壓層、技能層、技能輔佐層和回風(fēng)通道構(gòu)成，由FFU供應(yīng)循環(huán)空氣的動力，將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過超高效過濾器送入技能層和技能 輔佐層，靜壓層相對于技能層為負(fù)壓。此外，還有出產(chǎn)輔佐區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域，包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。 AMC控制標(biāo)準(zhǔn)更加嚴(yán)峻 集成電路制造對潔凈室環(huán)境的控制有較為嚴(yán)峻的需要。不一樣的技能制程對潔凈度的需要也各不相同，例如光刻需要在1級的微環(huán)境下，而化學(xué)機(jī)械研磨則只需要1000級的環(huán)境即 可。
選用FFU系統(tǒng)的潔凈室一般通過FFU的散布率來抉擇該潔凈室的潔凈等級，潔凈室的正壓通過新風(fēng)量來控制，潔凈室溫濕度的控制是通過循環(huán)空氣冷卻系統(tǒng)(RCU)和新風(fēng)空調(diào)系統(tǒng) (MAU)完結(jié)。 ESD也是半導(dǎo)體制造環(huán)境控制的重要內(nèi)容，靜電開釋或許對產(chǎn)品和出產(chǎn)設(shè)備構(gòu)成危害，還或許引起硅片表面塵粒吸附，影響產(chǎn)品的良率。靜電消除要在潔凈室方案上進(jìn)行整體考 慮，除了設(shè)備接地(包括潔凈墻板和高架地板，辦公設(shè)備等)外，還要選用防靜電墻板、高架地板，人員需要穿戴防靜電的潔凈服、潔凈鞋。對存在ESD危害風(fēng)險的設(shè)備和出產(chǎn)區(qū)域應(yīng) 設(shè)備靜電消除器。
FFU系統(tǒng)已成干流方案
