潔凈技術(shù)的環(huán)境控制能力是眾多行業(yè)的需求,它能解決靜電、噪音、潔凈度、溫濕度、通風(fēng)、照明等環(huán)境問題。根據(jù)其功能可適用于電子工藝,化學(xué)工藝,食品生產(chǎn),藥品生產(chǎn),醫(yī)療技術(shù),生物實(shí)驗(yàn)室,物理實(shí)驗(yàn)室等工業(yè)需求。下面為大家淺談潔凈技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域,對(duì)工藝需求與潔凈技術(shù)的應(yīng)用進(jìn)行了詳細(xì)的介紹。
潔凈技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域
潔凈技術(shù)在世界各國的廣泛應(yīng)用已經(jīng)經(jīng)歷了半個(gè)多世紀(jì)的發(fā)展,從**工業(yè)開始到電子工業(yè),并逐步發(fā)展到其他行業(yè),其應(yīng)用范圍越來越廣泛,技術(shù)要求也越來越高,應(yīng)用領(lǐng)域已涉及**、電子、食品、醫(yī)藥、衛(wèi)生、生物實(shí)驗(yàn)等方面。
1.電子(微電子)工業(yè)
電子工業(yè)已從過去的電子管發(fā)展到半導(dǎo)體分離器件、集成電路乃至超大規(guī)模集成電路,因此也大大地促進(jìn)了空氣潔凈技術(shù)的發(fā)展,實(shí)踐證明,集成電路制造工藝中,集成度越高,圖形尺寸越細(xì),對(duì)潔凈室控制的空氣塵埃微粒粒徑尺寸也越小,且空氣中含塵量要求越低。表0—1為大規(guī)模集成電路的工藝發(fā)展?fàn)顩r。表0-2為超大規(guī)模集成電路的發(fā)展及相應(yīng)控制微粒的粒徑。
集成電路芯片的成品合格率與芯片的缺陷密度有關(guān)。而缺陷密度與空氣中塵埃粒子個(gè)數(shù)有關(guān)。若假設(shè)芯片缺陷密度中有10%為空氣中塵埃粒子沉降到硅片上引起的,則可以推算出每平方米芯片上空氣塵埃粒子的*大允許值,如表0-3。因此,集成電路的高速發(fā)展,不僅對(duì)空氣中控制粒子的尺寸有更高的要求,而且對(duì)塵埃粒子的數(shù)量也有控制要求,即對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)有控制要求。除此以外,集成電路生產(chǎn)環(huán)境對(duì)化學(xué)污染控制也有十分嚴(yán)格的要求,如表0-4所示。
表0-1 大規(guī)模集成電路的工藝發(fā)展?fàn)顩r
年份 工藝特征 | 1980 | 1984 | 1987 | 1990 | 1993 | 1996 | 1999 | 2004 |
硅片直徑/mm | 75 | 100 | 125 | 150 | 200 | 200 | 200 | 300 |
DRAM技術(shù) | 64K | 256K | 1M | 4K | 16M | 64M | 256M | 1G |
特征尺寸/μm | 2 | 1.5 | 1 | 0.8 | 0.5 | 0.35 | 0.25 | 0.2—0.1 |
工藝步數(shù) | 100 | 150 | 200 | 300 | 400 | 500 | 600 | 700—800 |
潔凈度等級(jí) | 1000-100 | 100 | 10 | 1 | 0.1 μm | 0.1 μm | 0.1 μm | 0.1 μm |
表0-2 超大規(guī)模集成電路的發(fā)展及相應(yīng)控制微粒的粒徑
投產(chǎn)年度 項(xiàng)目 | 1997 | 1999 | 2001 | 2003 | 2006 | 2009 | 2012 |
集成度(DRAM) | 256M | 1G | 1G | 4G | 16G | 64G | 256G |
線寬/μm | 0.25 | 0.18 | 0.15 | 0.13 | 0.10 | 0.07 | 0.05 |
控制粒子直徑/μm | 0.125 | 0.09 | 0.075 | 0.065 | 0.05 | 0.035 | 0.025 |
表0-3 每平方米芯片上空氣塵埃粒子的*大允許值
集成度 成品率Y(%) | 64M | 256M | 1G | 4G | 16G | 64G |
90 | 55 | 38 | 25 | 16 | 11 | 8 |
80 | 124 | 84 | 56 | 37 | 24 | 7 |
70 | 195 | 132 | — | — | — | — |
控制粒子尺寸/μm | 0.035 | 0.025 | 0.018 | 0.013 | 0.01 | 0.007 |
表0-4 化學(xué)污染物控制指標(biāo)
年份 項(xiàng)目 | 1995 | 1997—1998 | 1999—2001 | 2003—2004 | 2006—2007 | 2009—2010 |
DRAM集成度 | 64M | 256M | 1G | 4G | 16G | 64G |
線寬/μm | 0.35 | 0.25 | 0.18-0.15 | 0.13 | 0.10 | 0.07 |
硅片直徑/μm | 200 | 200 | 300 | 300 | 400—450 | 400—450 |
受控粒子尺寸/μm | 0.12 | 0.08 | 0.06 | 0.04 | 0.03 | 0.02 |
粒子數(shù)(柵清洗)/(pc/m2) | 1400 | 950 | 500 | 250 | 200 | 150 |
重金屬(Fe)/(原子/cm2) | 5×1010 | 2.5×1010 | 1×1010 | 5×109 | 2.5×109 | <2.5×109 |
有機(jī)物(C)/(原子/ cm2) | 1×1014 | 5×1013 | 3×1013 | 1×1013 | 5×1012 | 3×1012 |
2.食品工業(yè)
食品工業(yè)的工藝主要有發(fā)酵、釀造、加工、灌封、包裝等。在這些過程中,空氣的潔凈**是保證產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵之一。如灌封、包裝過程中,如果包裝容器**不徹底而帶有**,那么食品的保質(zhì)期必然縮短,嚴(yán)重時(shí)會(huì)影響食用者的身體健康。
實(shí)踐證明,我們不僅要 重視對(duì)食品內(nèi)容物和灌包裝容器的**,而且不能輕視空氣的污染??諝獾奈廴疽话銇碜詢蓚€(gè)方面,一是從室外進(jìn)入室內(nèi)的空氣未經(jīng)凈化處理,帶有大量微生物。另 一方面,在食品加工車間的地面、墻壁、頂棚上,因?yàn)檎从刑欠帧⒌矸?、蛋白質(zhì)等粒子,當(dāng)溫度、濕度適宜時(shí),**就會(huì)在這些表面繁殖,并隨著空氣流吹散到房間 的各個(gè)角落。因此食品生產(chǎn)工藝需要無菌操作。
食品生產(chǎn)的無菌操作不僅是對(duì)產(chǎn)品的防腐保質(zhì)期限的影響,更重要的是空氣潔凈技術(shù)在食品生產(chǎn)中,尤其是在釀造、發(fā)酵中對(duì)酵母菌的純種培育、分離、接種、擴(kuò)種以及防止雜菌體的污染,提高產(chǎn)品質(zhì)量保持食品在色、香、味、營養(yǎng)等方面有著重要的作用。
3.醫(yī)療
如前所述,在醫(yī)院這個(gè) 特殊環(huán)境中,對(duì)空氣環(huán)境進(jìn)行控制是非常重要的。所謂的對(duì)空氣環(huán)境控制包括兩方面,其一是提高環(huán)境的舒適性。舒適的空調(diào)環(huán)境是**與康復(fù)的一個(gè)重要因素,在 某些情況下,甚至是主要的**方法。大量的醫(yī)學(xué)臨床研究證明,病人在適宜的空調(diào)環(huán)境中,通常比在非控制環(huán)境中體質(zhì)的恢復(fù)更快。例如,相對(duì)干燥和適宜的空氣 溫度,可防止手術(shù)或外傷病人因皮膚出汗而感染傷口。另一方面,通過對(duì)空氣環(huán)境的控制,可以防止病毒、**的傳播,特別是某些特殊病房尤為重要,如手術(shù)室、 白血病**室、**病房、臟器移植病房等。
4. 生物實(shí)驗(yàn)
在遺傳工程、病理檢 驗(yàn)、細(xì)胞組織培養(yǎng)、疫苗培養(yǎng)等研究方面,常常需要在無菌無塵的環(huán)境中進(jìn)行操作,一方面要求試件不受其他微生物的污染以保證實(shí)驗(yàn)的精度,另一方面要求所研究 的材料如病毒、高危險(xiǎn)度病原菌、放射性物質(zhì)不外溢,防止危害操作者的健康及污染環(huán)境。對(duì)于這類實(shí)驗(yàn)用潔凈室,除一般潔凈室所必須的設(shè)置要求外,還要求具有 兩級(jí)隔離。**級(jí)通常是用生物**工作柜使工作人員與病原體等危險(xiǎn)試件隔離;**級(jí)是將實(shí)驗(yàn)區(qū)與其他環(huán)境區(qū)隔離。同時(shí)實(shí)驗(yàn)室處于負(fù)壓狀態(tài)。
5. 實(shí)驗(yàn)動(dòng)物飼養(yǎng)
為了臨床試驗(yàn)的需要, 某些醫(yī)院或科研單位往往設(shè)置一定規(guī)模的實(shí)驗(yàn)動(dòng)物飼養(yǎng)房,飼養(yǎng)某些特定的實(shí)驗(yàn)動(dòng)物,用于對(duì)使用于人體的醫(yī)療設(shè)備、手術(shù)方案、藥品制劑等的試驗(yàn),以監(jiān)測其** 性。在實(shí)驗(yàn)動(dòng)物中,控制微生物是特別重要的,也是借以研究其對(duì)人類生命健康影響的手段。如果實(shí)驗(yàn)動(dòng)物感染了致病性微生物、病毒或寄生蟲,就可能導(dǎo)致試驗(yàn)全 部失敗。因此,對(duì)于影響實(shí)驗(yàn)動(dòng)物飼養(yǎng)房的環(huán)境因素,諸如空氣溫度、濕度、氣流速度、微生物和塵埃顆粒物等,須按照動(dòng)物種類和設(shè)施環(huán)境要求予以控制。
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